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Registrerungsstifte und Popup-Pins Sind Auf der Tischplatte Nebeneinander Vorhanden,Registrerungsstifte Eignen Sich Zum Ausrichten(5- Zoll-und 6-Zoll-Silizumwafer),Popup-Stifte Lassen Sich Bequem Manuell Entladen,Der Registrierungsbereich Ist Mit 6 CCD Ausgestattet Kameras Zur Erkennung desZiels AUF DEM晶圆臭虫Zur Kante undRückmeldungzumvergleich der posity des Steersystems。Das x / y /θ-servomotor-übragungssystemwird aktiviert,um die Registerungsplattform在Die Genaue位置Zu Bewegen(Zusammen Mit Dem Substrat Auf der Tischplatte),UM De Der Tischplatte),UM DER TISCHPLATTE),UM DEATICHTUNG ZU ERREICHEN
Modell. | ATMASC_25PP. |
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Tischgröße. | 280 x 350 mm |
vakubabreich. | 140 x 140 mm |
MaximaleDruckfläche. | 156 x 156 mm |
Maximale Rahmen-O / D-Größe | 500 x 500毫米 |
Produktivität. | 360 p / h. |
rahmenhöhe. | 25-27毫米 |
Energieverbrauch. | 1.6kw. |
Luftabsaugung | 30 L / min |
maschinenabmessung. | 1050 x 1250 x 1680 mm |
MaschinengeWicht | 500千克 |
AT-25PSC(MaximaleDruckfläche156x 156 mm)
RegistrierungsStifte und Popup-stifte Befinden SichPlatte,Registrerungsstifte Eignen Sich Zum Ausrichten(5-Zoll-und 6-Zoll-Wafer)und Popup-Stifte Zum Entladen Nach Dem Drucken。
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