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Automatische Multifunktions-roll-to-flor-produktionsliniefürallflexiblen walzmaterialien ...
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RegistrierungsStifte und Popup-stifte Befinden SichPlatte,Registrerungsstifte Eignen Sich Zum Ausrichten(5-Zoll-und 6-Zoll-Wafer)und Popup-Stifte Zum Entladen Nach Dem Drucken。
上一次 | AT_25PSC |
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Tischgröße. | 250 x 270毫米 |
Vakuumbereich | 140 x140毫米 |
Maximale Druckflache | 156x156mm |
Maximale Rahmen-O / D-Größe | 500 x 500毫米 |
Produktivitat | 510p / h。 |
rahmenhöhe. | 25-27毫米 |
Energieverbrauch | 0, 83千瓦 |
Luftabsaugung | 6,88 L / min |
maschinenabmessung. | 735 x 680 x 1600 mm |
Maschinengewicht | 185千克 |
ATMASC 25PP(MaximaleDruckfläche200 x 300 mm)
Registrerungsstifte und Popup-Pins Sind Auf der Tischplatte Nebeneinander Vorhanden,Registrerungsstifte Eignen Sich Zum Ausrichten(5- Zoll-und 6-Zoll-Silizumwafer),Popup-Stifte Lassen Sich Bequem Manuell Entladen,Der Registrierungsbereich Ist Mit 6 CCD Ausgestattet Kameras Zur Erkennung desZiels AUF DEM晶圆臭虫Zur Kante undRückmeldungzumvergleich der posity des Steersystems。Das x / y /θ-servomotor-übragungssystemwird aktiviert,um die Registerungsplattform在Die Genaue位置Zu Bewegen(Zusammen Mit Dem Substrat Auf der Tischplatte),UM De Der Tischplatte),UM DER TISCHPLATTE),UM DEATICHTUNG ZU ERREICHEN
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