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Sauf Pue Le Mode De ProductionEntièrementIomatique，ILPatêtreAjustédetucksleymérisépleps'adapteràaadledupaneopequideàlatails dupanceeredeàlaizatedistinte decontródethingstupe，保证程序联合固定符合Comperètusubstrat sur la表吊坠l'印象，ColocaliséAvec联合国CCDàforprastandresedétectersl'image d'entegistrement，cible d'negistrentend rapide etprécisesurl'écranetla cible sur le substrat：Une fourcheencastréeavec entoustsspécialeestactéeprattrateratuper raturectuite，Équipéed'联合国Capteure De Pression Automatique，D'UN Voyant D'AvertissementàroisCouleurs，D'UneBarrièreLumineuseDe Protection，D'UN Interrupteur D'Arrêtd'Urgence等。

Fonctionnalites

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• PrécisionAméliorée：La表D'EnregistrestEstéquipéede Trois Ensembles De ServoMoteurs PourContrôlaventsXXY，LeSystèmeVisuelEstuilliséPlePuger de laQuantiTédedéplacementde la桌，Le Positing Du Mouvement Orterneratif Droit / Gauche de la桌Coulissante EstContrôléCarUN卫生液+ AspirationD'ÉlectoAimant，LaPrécisionDeationnementAttint5μm。
• Qualoyeur SansPoussière：Le QuoteeurD'Nortée/ Sortie EstUtiliséL'NoneAummagétiqueSans联系PlayTransférerLeSubstrat，沉默，归因于La Cible Rapide et Descendant：CCDàbristipleasede Haut en Bas PourDéteecterla cible + staynment du compteurOptique，Cible deL'Écrand'registrementSupérieur，Cible du Substrat D'NegistrestInférieur，汽车La补偿De Micro-Ajustement Andure Le Nettoyage de L'Environnement de Travail SansPoussière。
• Dommages Gratings：Les Rouleeaux Saltiveent Les DeuxExtrémitésdeLaMarge inffficace，UnMatériaunnCaoutchoucfulenfruffultureutiliséPlulthousouse，La MarquedeCraçageN'estPasRastée
• DétecterLadéformation：Une Aspiration Sous Vide EstAppliquéesur le dessus de la桌Pourdétecterladéformationdu Substrat，L'印象D'UnePlanéitéInégale，Une Insuisce d'Aspiration EstDétecablededémarrerl'印象。

规格

Autre taille de la même série de modèles:

大气压Ig1515（区域D'印象Maximale 1300x1500mm）

的连通

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